[发明专利]具有结构化的金属层的声换能器组件和用于制造具有结构化金属层的声换能器组件的方法在审
| 申请号： | 201680071570.7 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN108290183A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | B·朔伊费勒;A·格拉赫 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G10K11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出一种声换能器组件(100)，包括孔板承载件(101)、多个压电元件(105)和封闭层(108)，该孔板承载件具有水平间隔开布置的第一空缺部(102)和水平间隔开布置的第二空缺部，其中，第一空缺部(102)和第二空缺部(103)分别相叠地邻接地布置，其中，第二空缺部(103)的水平延展尺度大于第一空缺部(102)的水平延展尺度，从而在孔板承载件(101)内部形成支承面(104)，其特征在于，每个第二空缺部(103)具有一个压电元件(105)，并且压电元件(105)部分地布置在支承面(104)上，其中，每个压电元件(105)具有这样的水平延展尺度，该水平延展尺度大于第一空缺部(102)的水平延展尺度并且小于第二空缺部(103)的水平延展尺度，从而沿水平方向在孔板承载件(101)与压电元件(105)之间形成空腔，并且封闭层(108)布置在孔板承载件(101)和压电元件(105)上，其中，封闭层(108)具有结构化的第一金属层(109)，该结构化的第一金属层布置在压电元件(105)上方并且起膜片作用。 | ||
| 搜索关键词： | 空缺部 压电元件 水平延展 承载件 孔板 尺度 声换能器组件 封闭层 结构化 第一金属层 水平间隔 支承面 结构化金属层 金属层 邻接 空腔 膜片 制造 | ||
【主权项】：
1.声换能器组件(100)，包括：·孔板承载件(101)，该孔板承载件具有水平间隔开布置的第一空缺部(102)和水平间隔开布置的第二空缺部，其中，第一空缺部(102)和第二空缺部(103)分别相叠地邻接地布置，其中，所述第二空缺部(103)的水平延展尺度大于所述第一空缺部(102)的水平延展尺度，从而在所述孔板承载件(101)内部形成支承面(104)，·多个压电元件(105)，和·封闭层(108)，其特征在于，·每个第二空缺部(103)具有一个压电元件(105)，并且所述压电元件(105)部分地布置在所述支承面(104)上，其中，每个压电元件(105)具有这样的水平延展尺度，该水平延展尺度大于所述第一空缺部(102)的水平延展尺度并且小于所述第二空缺部(103)的水平延展尺度，从而沿水平方向在所述孔板承载件(101)与所述压电元件(105)之间形成空腔，并且·所述封闭层(108)布置在所述孔板承载件(101)和所述压电元件(105)上，其中，所述封闭层(108)具有结构化的第一金属层(109)，该结构化的第一金属层布置在所述压电元件(105)上方并且起膜片作用。
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