[发明专利]表面改性部件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201680042893.3 申请日: 2016-06-27
公开(公告)号: CN107849677B 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 横田博纪;福士达也;水津龙夫 申请(专利权)人: 东华隆株式会社
主分类号: C23C4/18 分类号: C23C4/18;C23C4/12;H01L21/205;H01L21/3065
代理公司: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 代理人: 郑永胜;耿超
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种表面改性部件的制造方法,该制造方法包括:在基材上形成喷涂覆膜的工序;对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分基材熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序;在最新形成的改性层上形成喷涂覆膜的工序;以及对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分最新形成的改性层熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序。
搜索关键词: 表面 改性 部件 制造 方法
【主权项】:
表面改性部件的制造方法,其特征在于,所述表面改性部件的制造方法依次进行以下工序(a)和工序(b),然后依次进行一次、或者依次重复进行多次工序(c)和工序(d):(a):在包含金属、合金或金属陶瓷的基材上形成喷涂覆膜的工序,所述喷涂覆膜包含与所述基材不同的金属、合金或金属陶瓷材料;(b):对由所述工序(a)形成的喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个该喷涂覆膜和一部分所述基材熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序;(c):在最新形成的改性层上形成喷涂覆膜的工序,所述喷涂覆膜包含与所述基材不同的金属、合金或金属陶瓷材料;(d):对由所述工序(c)形成的喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个该喷涂覆膜和一部分所述最新形成的改性层熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序。
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