[发明专利]表面改性部件的制造方法有效
申请号: | 201680042893.3 | 申请日: | 2016-06-27 |
公开(公告)号: | CN107849677B | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 横田博纪;福士达也;水津龙夫 | 申请(专利权)人: | 东华隆株式会社 |
主分类号: | C23C4/18 | 分类号: | C23C4/18;C23C4/12;H01L21/205;H01L21/3065 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 郑永胜;耿超 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种表面改性部件的制造方法,该制造方法包括:在基材上形成喷涂覆膜的工序;对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分基材熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序;在最新形成的改性层上形成喷涂覆膜的工序;以及对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分最新形成的改性层熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序。 | ||
搜索关键词: | 表面 改性 部件 制造 方法 | ||
【主权项】:
表面改性部件的制造方法,其特征在于,所述表面改性部件的制造方法依次进行以下工序(a)和工序(b),然后依次进行一次、或者依次重复进行多次工序(c)和工序(d):(a):在包含金属、合金或金属陶瓷的基材上形成喷涂覆膜的工序,所述喷涂覆膜包含与所述基材不同的金属、合金或金属陶瓷材料;(b):对由所述工序(a)形成的喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个该喷涂覆膜和一部分所述基材熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序;(c):在最新形成的改性层上形成喷涂覆膜的工序,所述喷涂覆膜包含与所述基材不同的金属、合金或金属陶瓷材料;(d):对由所述工序(c)形成的喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个该喷涂覆膜和一部分所述最新形成的改性层熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
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C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
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