[发明专利]工件保持体及成膜装置有效
| 申请号： | 201680004604.0 | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107109638B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 中牟田雄;松本昌弘;原田学;高桥康司;影山贵志 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人： | 韩登营;蒋国伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的一个方面所涉及的表面处理用的工件保持体(20)具备保持器(21)和粘接片(22)。粘接片(22)具有:以第一粘接力粘接于保持器(21)的第一面(22a)(第一粘接层(221))；和构成为能以比所述第一粘接力大的第二粘接力保持工件(部件主体110)的第二面(22b)(第二粘接层(222))。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 保持 装置 | ||
【主权项】：
1.一种工件保持体,其用于表面处理,具备保持器和粘接片，其中，所述保持器具有保持器主体和导热片的层叠结构，所述粘接片具有：第一面，其以第一粘接力粘接于所述保持器，所述第一粘接力所对应的剥离强度在0.2N/25mm～3.5N/25mm的范围内；和第二面，其被构成为能以比所述第一粘接力大的第二粘接力保持工件，所述第二粘接力所对应的剥离强度在6.5N/25mm～12N/25mm的范围内。
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