[实用新型]一种新型中性渐变滤光片的制备装置有效
| 申请号： | 201621461851.7 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN206337306U | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 徐嘉轩;张智广;贾秋平;范文生 | 申请（专利权）人： | 北京同生科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司11003 | 代理人： | 尹振启,张宇锋 |
| 地址： | 100070 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种新型中性渐变滤光片的制备装置，该制备装置设置在镀膜机真空室内，制备装置包括第一修正挡板、第二修正挡板和第三修正挡板；第一修正挡板设置在真空室内的镀膜伞架下方；第二修正挡板设置在金属膜料蒸发源的上方，第三修正挡板设置在介质膜料蒸发源的上方；第一修正挡板的截面形状为中空的圆形，中空部分的形状为椭圆形；第二修正挡板的截面呈“水滴”状；第三修正挡板的截面呈“月牙”状。本申请的制备装置针对每一种材料的蒸发特性进行膜厚修正，材料的厚度分布精确可控；针对中性渐变滤光片的整体分布进行膜厚修正，滤光片的整体光谱分布精确可控；可直接对已有的镀膜机进行改造升级；镀制的中心渐变滤光片的线性度好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 中性 渐变 滤光 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种新型中性渐变滤光片的制备装置，其特征在于，所述制备装置设置在镀膜机真空室内，制备装置包括第一修正挡板、第二修正挡板和第三修正挡板；其中，所述第一修正挡板设置在真空室内的镀膜伞架下方；所述第二修正挡板和第三修正挡板错落设置在第一修正挡板下方；且第二修正挡板设置在金属膜料蒸发源的上方，第三修正挡板设置在介质膜料蒸发源的上方；第一修正挡板的截面形状为中空的圆形，中空部分的形状为椭圆形；第二修正挡板的截面呈“水滴”状；第三修正挡板的截面呈“月牙”状。
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