[实用新型]一种高温束源炉有效
| 申请号： | 201621384010.0 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN206328454U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 赵俊华 | 申请（专利权）人： | 沈阳聚智真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种高温束源炉，涉及一种束源炉技术领域。该实用新型包括机架，其中，机架包括底座和垂直设置在底座上的立杆，束源炉本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，底座的上方设置有保护罩，保护罩内设置有坩埚和加热丝，坩埚上设置有加热丝，坩埚的外侧设置有屏蔽层，底座上设置有冷却波纹管和电极组件，冷却波纹管通过连接管路与束源炉本体连通，电极组件通过连接引线与束源炉本体连接。本实用新型在1500℃状态下可以长期工作稳定，膜层纯度达到满意效果，无挥发掺杂，选用热解氮化硼坩埚，高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应，适用范围广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 束源炉 | ||
【主权项】：
一种高温束源炉，包括机架，其特征在于，所述机架包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆，所述束源炉本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，所述底座的上方设置有保护罩，所述保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝，所述坩埚上设置有所述加热丝，所述坩埚的外侧设置有屏蔽层，所述底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件，所述冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通，所述电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。
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