[实用新型]一种扩散炉有效
| 申请号： | 201621076101.8 | 申请日： | 2016-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN206298661U | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 曹铭;衡阳;王鹏飞;张春华;徐义胜;郑旭然;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种扩散炉，包括炉体，炉体内设置有用于装载硅片的石英舟，石英舟的正上方设置有喷淋管，喷淋管的底部设置有相互平行的至少三组并排设置的喷淋孔，同一组的喷淋孔的形状和大小相同，喷淋孔包括位于外侧的两组第一喷淋孔和位于内侧的至少一组第二喷淋孔，第二喷淋孔的面积小于第一喷淋孔的面积，第二喷淋孔的位置与石英舟的中部相对应。由于第二喷淋孔设置在喷淋管的内侧的区域，与石英舟的中部区域很接近，可以有效地提高位于硅片中部位置的POCl3的浓度，且第二喷淋孔的面积小于第一喷淋孔的面积，可以避免硅片中部位置的POCl3的浓度过高，利于保持与硅片边缘的POCl3的适度浓度差，提高硅片的表面的方块电阻的均匀性和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 | ||
【主权项】：
一种扩散炉，其特征在于，包括炉体(1)，所述炉体(1)内设置有用于装载硅片(21)的石英舟(22)，所述石英舟(22)的正上方设置有喷淋管(3)，所述喷淋管(3)的底部设置有相互平行的至少三组并排设置的喷淋孔(31)，同一组的所述喷淋孔(31)的形状和大小相同，所述喷淋孔(31)包括位于外侧的两组第一喷淋孔(311)和位于内侧的至少一组第二喷淋孔(312)，所述第二喷淋孔(312)的横截面积小于所述第一喷淋孔(311)的横截面积，所述第二喷淋孔(312)的位置与所述石英舟(22)的中部相对应。
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