[实用新型]一种螺线管线圈微型磁通门有效
申请号: | 201621017090.6 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN205958729U | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 侯晓伟;顾杰斌;刘冰杰;倪大成;王飞;郑良广;陈竹健 | 申请(专利权)人: | 宁波中车时代传感技术有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01R33/00 | 分类号: | G01R33/00;G01R33/04 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司33102 | 代理人: | 张一平,王莹 |
地址: | 315021 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种螺线管线圈微型磁通门,包括相互键合的第一高阻硅片和第一高阻硅片,第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合面之间具有一内置铁芯层的铁芯腔,铁芯腔的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔,螺线管腔在第一高阻硅片和/或第二高阻硅片的外表面上形成有填充口,填充口上覆盖设置有保护层,保护层上开设有通至螺线管线圈的电极窗口。该螺线管线圈微型磁通门环保性好、制备简单、成品率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 螺线管 线圈 微型 磁通门 | ||
【主权项】:
一种螺线管线圈微型磁通门,其特征在于:包括相互键合的第一高阻硅片(1)和第二高阻硅片(2),所述第一高阻硅片(1)和第二高阻硅片(2)的对合面之间具有一内置铁芯层的铁芯腔(100),所述铁芯腔(100)的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔(200),所述螺线管腔(200)在第一高阻硅片(1)和/或第二高阻硅片(2)的外表面上形成有填充口(201),所述填充口(201)上覆盖设置有保护层(300),所述保护层(300)上开设有通至所述螺线管腔(200)的电极窗口(301)。
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