[实用新型]一种连续型管式扩散装置

摘要

本实用新型公开了一种连续型管式扩散装置，其中，所述扩散装置包括依次连接的三个管式炉体，每一所述管式炉体分别独立地设置有进料炉门、出料炉门；其中，第一个管式炉体的设置有出料炉门的一端与第二个管式炉体的设置有进料炉门的一端连接，第二个管式炉体的设置有出料炉门的一端与第三个管式炉体的设置有进料炉门的一端连接；所述扩散装置还包括可移动的第一输送浆和第二输送浆，第一输送浆配置在第一个管式炉体的设置有进料炉门的一端并且至少可以伸入到第二个管式炉体中，第二输送浆配置在第三个管式炉体的设置有出料炉门的一端并且至少可以伸入到第二个管式炉体中。该装置可以节省硅片样品的扩散工艺流程的时间，提高生产效率。

主权项

一种连续型管式扩散装置，其特征在于，所述扩散装置包括依次连接的三个管式炉体，每一所述管式炉体分别独立地设置有进料炉门、出料炉门、进气系统以及排气系统；其中，第一个管式炉体的设置有出料炉门的一端与第二个管式炉体的设置有进料炉门的一端相互连接，第二个管式炉体的设置有出料炉门的一端与第三个管式炉体的设置有进料炉门的一端相互连接；所述扩散装置还包括可移动的第一输送浆和第二输送浆，所述第一输送浆配置在第一个管式炉体的设置有进料炉门的一端并且至少可以伸入到第二个管式炉体中，所述第二输送浆配置在第三个管式炉体的设置有出料炉门的一端并且至少可以伸入到第二个管式炉体中。