[实用新型]一种螺线管线圈微型磁通门有效
| 申请号： | 201621001972.3 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN205941858U | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 侯晓伟;王飞;倪大成;郑良广;陈竹健 | 申请（专利权）人： | 宁波中车时代传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/00 | 分类号： | G01R33/00;G01R33/04 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司33102 | 代理人： | 张一平,王莹 |
| 地址： | 315021 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种螺线管线圈微型磁通门，包括相互键合的第一高阻硅片和第一高阻硅片，第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合面之间具有一内置铁芯层的铁芯腔，铁芯腔的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔，螺线管腔在第一高阻硅片和/或第二高阻硅片的外表面上形成有填充口，填充口上覆盖设置有保护层，保护层上开设有通至螺线管线圈的电极窗口。该螺线管线圈微型磁通门环保性好、制备简单、成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 螺线管 线圈 微型 磁通门 | ||
【主权项】：
一种螺线管线圈微型磁通门，其特征在于：包括相互键合的第一高阻硅片(1)和第二高阻硅片(2)；所述第一高阻硅片(1)的内表面上刻蚀有一浅槽(11)；所述第一高阻硅片(1)的内表面上还刻蚀有多组分布在所述浅槽(11)两侧的支柱孔(12)；所述第一高阻硅片(1)的外表面上刻蚀有分别与每组支柱孔(12)相对应连通的第一线圈槽(13)，所述第一线圈槽(13)在所述第一高阻硅片(1)的外表面上形成填充口(300)，所述填充口(300)上覆盖设置有保护层(400)，所述保护层(400)上开设有通至所述螺线管腔(200)的电极窗口(401)；所述第二高阻硅片(2)的内表面上对应于每组支柱孔(12)刻蚀有第二线圈槽(21)；所述第一高阻硅片(1)和第一高阻硅片(1)键合后，所述浅槽(11)构成铁芯腔(100)，所述第一线圈槽(13)、一组支柱孔(12)、第二线圈槽(21)构成连通的螺线管腔(200)；所述铁芯腔(100)填充铁芯材料以构成铁芯层(102)，所述螺线管腔(200)填充有线圈材料以构成螺线管线圈(201)。
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