[实用新型]一种旋转式真空镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201620941213.9 申请日: 2016-08-25
公开(公告)号: CN206069988U 公开(公告)日: 2017-04-05
发明(设计)人: 吴军 申请(专利权)人: 天津普利爱特真空镀膜有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300350 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型提供一种旋转式真空镀膜装置,包括主腔体,在所述主腔体一侧通过转轴连接有副腔体,所述主腔体和副腔体合围成真空腔体,在主腔体内设置有抽风口,所述抽风口与设置在主腔体上方的抽真空机相连接,在所述副腔体内设置有正极柱和负极柱,在正极柱和负极柱之间连接有多个电热丝,在所述正极柱和负极柱上方和下方平行设置有从动辊组,在下方所述从动辊组中间设置有主动辊,从动辊组和主动辊的外侧面套装有传送带,在所述传送带的外侧面横向均匀设置有多个安装杆,在所述安装杆的两端分别设置有限位部件,在所述限位部件中间的安装杆上滑动连接有挂钩。本实用新型的有益效果是具有结构简单、成本低的特点。
搜索关键词: 一种 旋转 真空镀膜 装置
【主权项】:
一种旋转式真空镀膜装置,其特征在于:包括主腔体(1),在所述主腔体(1)一侧通过转轴(2)连接有副腔体(3),所述主腔体(1)和副腔体(3)合围成真空腔体,在主腔体(1)内设置有抽风口(4),所述抽风口(4)与设置在主腔体(1)上方的抽真空机(5)相连接,在所述副腔体(3)内设置有正极柱(6)和负极柱(7),在正极柱(6)和负极柱(7)之间连接有多个电热丝(8),在所述正极柱(6)和负极柱(7)上方和下方平行设置有从动辊组(9),在下方所述从动辊组(9)中间设置有主动辊(10),从动辊组(9)和主动辊(10)的外侧面套装有传送带(11),在所述传送带(11)的外侧面横向均匀设置有多个安装杆(12),在所述安装杆(12)的两端分别设置有限位部件(13),在所述限位部件(13)中间的安装杆(12)上滑动连接有挂钩(14)。
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