[实用新型]一种冷阴极潘宁离子源有效
| 申请号： | 201620870605.0 | 申请日： | 2016-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN205944024U | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 黄智武;王俊润;卢小龙;韦峥;张宇;姚泽恩;马占文;徐大鹏 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | H01J27/04 | 分类号： | H01J27/04 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 730000 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种冷阴极潘宁离子源，该冷阴极潘宁离子源阳极采用隐藏式固定结构，对阴极靠近放电室的表面采用凹形结构，阴极引出采用上下圆锥形结构；阳极上的电压通过阳极接线柱馈入，阴极板、中间电极外套、连接法兰、对阴极焊接法兰均接地，并通过陶瓷法兰和绝缘法兰保持与阳极的绝缘。本实用新型提高引出束流强度的同时，大大延长了离子源的使用寿命，降低了使用成本。可以引出1~5 mA的D束流，使用寿命大于500小时；所有部件均采用可拆卸式结构，可方便更换易损部件的同时，给其参数的优化留下了很大的空间，提高了整体的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 离子源 | ||
【主权项】：
一种冷阴极潘宁离子源，其特征在于，所述冷阴极潘宁离子源的阳极采用隐藏式固定结构，对阴极靠近放电室的表面采用凹形结构，阴极上的引出孔采用上下双圆锥形结构。
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