[实用新型]晶体键合用真空气氛键合炉

摘要

本实用新型公开了一种晶体键合用真空气氛键合炉，包括炉体（1），真空腔（2）内设有保温盒（3），保温盒（3）腔体内设有至少一个加热体（4）；炉体（1）上设有气氛气体入口（5）和气氛气体出口（6）；炉体（1）上还设有抽真空孔（7），抽真空孔（7）通过气管（8）与真空泵（9）的进气孔相连。炉体（1）的内壁上设有通水冷却层（10）。本实用新型具有抽真空功能，可提供真空的键合环境，键合面不易残留空气，且尘埃量可得到有效抑制，提高了键合牢固度。炉膛内可通入气氛气体，为键合提供合适的键合气氛，实现键合气氛配合。炉体的内壁上设有通水冷却层，极大地提高了降温冷却的效率，避免炉膛外壁温度过高。

主权项

晶体键合用真空气氛键合炉，其特征在于：包括炉体（1），所述的炉体（1）内设有真空腔（2），真空腔（2）内设有保温盒（3），保温盒（3）由盒体（3.1）和盒盖（3.2）构成，盒体（3.1）和盒盖（3.2）形成的腔体内设有至少一个加热体（4），加热体（4）安装在盒盖（3.2）上；所述的炉体（1）上设有至少一个气氛气体入口（5）和至少一个气氛气体出口（6），气氛气体入口（5）和气氛气体出口（6）均与真空腔（2）连通；所述的炉体（1）上还设有抽真空孔（7），抽真空孔（7）通过气管（8）与真空泵（9）的进气孔相连。