[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620804943.4 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN206069990U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 张伸福;邱林林 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置用于蒸镀基板，包括蒸镀源、喷嘴、限制板以及第一加热部件，蒸镀源，所述蒸镀源的数量为多个，多个所述蒸镀源均设置在所述基板的一侧；喷嘴，所述喷嘴的数量为多个，所述喷嘴设置在所述蒸镀源上，且所述喷嘴与所述蒸镀源一一对应，多个所述喷嘴均面向所述基板；限制板，所述限制板设置在所述蒸镀源的两侧；以及第一加热部件，所述第一加热部件设置在所述限制板上，所述第一加热部件用于对所述限制板进行加热。上述蒸镀装置，能够实现对限制板上堆积的材料进行实时处理，从而防止其脱落堵塞喷嘴。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，所述蒸镀装置用于蒸镀基板，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀源，所述蒸镀源的数量为多个，多个所述蒸镀源均设置在所述基板的一侧；喷嘴，所述喷嘴的数量为多个，所述喷嘴设置在所述蒸镀源上，且所述喷嘴与所述蒸镀源一一对应，多个所述喷嘴均面向所述基板；限制板，所述限制板设置在所述蒸镀源的两侧；以及第一加热部件，所述第一加热部件设置在所述限制板上，所述第一加热部件用于对所述限制板进行加热。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620804943.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
