[实用新型]一种通带展宽的BAW梯型滤波器有效
| 申请号： | 201620787573.8 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN205921566U | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 高杨;赵坤丽;蔡洵;雷强;贾乐;王宇航;韩宾;刘婷婷 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145;H03H9/72 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙)51211 | 代理人： | 蒋斯琪 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种通带展宽的BAW梯型滤波器，该滤波器包括制作在衬底上的彼此互连的m个串联和n个并联FBAR单元、信号输入端子、信号输出端子、结点N1~Nn+1；该滤波器通过如下方法设计构建FBAR单元的Mason仿真电路模型、调整FBAR单元各膜层的厚度、确定滤波器的级联阶数和拓扑结构、使用参数化设计方法仿真得到BAW梯型滤波器串、并联FBAR的谐振区面积、使用优化方法对带内插损、带内纹波进行优化；在制造过程中，采用DRIE+RIE的两步法刻蚀FBAR衬底，提高BAW滤波器的成品率；本实用新型能够提高BAW梯型滤波器的滤波性能，缩短滤波的设计周期，提高通带展宽的BAW滤波器器件可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 展宽 baw 滤波器 | ||
【主权项】：
一种通带展宽的BAW梯型滤波器，其特征在于：包括信号输入端子Vin、信号输出端子Vout、彼此互连的m个串联的FBAR单元、n个并联的FBAR单元，结点N1~Nn+1，其中m和n为正整数。
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