[实用新型]一种硅片清洗机有效

专利信息
申请号: 201620768297.0 申请日: 2016-07-19
公开(公告)号: CN205828411U 公开(公告)日: 2016-12-21
发明(设计)人: 吕海强;郑安;黄杨康 申请(专利权)人: 浙江金乐太阳能科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/02;B08B3/04;B08B3/12
代理公司: 慈溪慈恒专利代理事务所(特殊普通合伙)33249 代理人: 戚秋鹏
地址: 315200 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供一种硅片清洗机,包括清洗机箱体和清洗篮;所述清洗机箱体的底部设有多个沉槽;所述清洗篮的底部设有与所述沉槽相对应的凸起部;所述清洗机箱体的侧面和底部均设置有超声波振子;所述清洗篮上设有握把孔;所述握把孔上安装有挂钩;所述清洗篮通过所述挂钩安装到所述清洗机箱体上;所述清洗机箱体设置有便于拿放所述挂钩的握把凹槽;本实用新型硅片清洗机的结构紧凑合理,清洗篮可上下堆叠在清洗机内且彼此之间是不接触的,空间利用率高,清洗效果好。
搜索关键词: 一种 硅片 清洗
【主权项】:
一种硅片清洗机,其特征在于:包括清洗机箱体(1)和清洗篮(2);所述清洗机箱体(1)的底部设有多个沉槽(3);所述清洗篮(2)的底部设有与所述沉槽(3)相对应的凸起部(4);所述清洗机箱体(1)的侧面和底部均设置有超声波振子(5);所述清洗篮(2)上设有握把孔(6);所述握把孔(6)上安装有挂钩(7);所述清洗篮(2)通过所述挂钩(7)安装到所述清洗机箱体(1)上;所述清洗机箱体(1)设置有便于拿放所述挂钩(7)的握把凹槽(8)。
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