[实用新型]一种二氧化碳射频激光器闭环功率控制系统有效
| 申请号： | 201620763472.7 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN206059896U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 庞海波 | 申请（专利权）人： | 北京大威激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/104 | 分类号： | H01S3/104 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 102200 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种二氧化碳射频激光器闭环功率控制系统，涉及CO2射频激光器功率控制领域。目的在于解决目前CO2射频激光器功率控制采用开环功率控制方式导致的输出功率不稳定、控制效果不佳的问题。反馈控制电路的功率PWM信号输入端接收外部控制输入端输入的功率PWM信号；反馈控制电路的激励电源输出端与射频激励电源的激励电源输入端连接；射频激励电源的射频脉冲信号输出端与CO2射频腔的射频脉冲信号输入端连接；CO2射频腔的CO2激光信号输出端与CO2激光功率检测电路的CO2激光信号输入端连接；CO2激光功率检测电路的功率反馈信号输出端与反馈控制电路的功率反馈信号输入端连接。适用于CO2射频激光器功率控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化碳 射频 激光器 闭环 功率 控制系统 | ||
【主权项】：
一种二氧化碳射频激光器闭环功率控制系统，其特征在于，它包括：反馈控制电路(1)、射频激励电路(2)、CO2射频腔(3)和CO2激光功率检测电路(4)；反馈控制电路(1)的功率PWM信号输入端接收外部控制输入端输入的功率PWM信号；反馈控制电路(1)的激励电源输出端与射频激励电源的激励电源输入端连接；射频激励电源的射频脉冲信号输出端与CO2射频腔(3)的射频脉冲信号输入端连接；CO2射频腔(3)的CO2激光信号输出端与CO2激光功率检测电路(4)的CO2激光信号输入端连接；CO2激光功率检测电路(4)的功率反馈信号输出端与反馈控制电路(1)的功率反馈信号输入端连接。
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