[实用新型]一种用于金刚线多晶硅片的喷砂装置有效
| 申请号： | 201620725530.7 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN205799897U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李名扬;王猛;韩震峰;雷深皓;华永云;俞忠达;陈永胜 | 申请（专利权）人： | 北京创世捷能机器人有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京君恒知识产权代理事务所(普通合伙)11466 | 代理人： | 张效荣;林潮 |
| 地址： | 100160 北京市丰台区南四环西*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种用于金刚线多晶硅片的喷砂装置，包括：支架系统、定位系统、传动系统、喷砂系统和砂浆系统，传动系统将待处理的金刚线多晶硅片传送至喷砂系统，喷砂系统将砂浆系统中的磨液喷涂到硅片表面，完成喷砂处理。通过对金刚线多晶硅片表面进行喷砂处理，能够改变金刚线多晶硅片的表面微观形貌，经过表面处理后的金刚线多晶硅片能够直接进行电池片的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金刚 多晶 硅片 喷砂 装置 | ||
【主权项】：
一种用于金刚线多晶硅片的喷砂装置，其特征在于包括：支架系统、定位系统、传动系统、喷砂系统和砂浆系统；其中：定位系统设置在传动系统上，包括至少一个真空载台、至少一个真空源和至少一个真空管；真空载台的上端面设置有通孔，真空载台的上端面用于承载金刚线多晶硅片；真空载台通过真空管可拆卸地与真空源连通；传动系统设置在支架系统上，用于驱动真空载台进出支架系统；喷砂系统设置在支架系统内、并与砂浆系统连接，用于将砂浆系统中的磨液喷涂到金刚线多晶硅片的表面。
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