[实用新型]用于金刚线多晶硅片的三轴联动自动喷砂装置

摘要

公开了用于金刚线多晶硅片的三轴联动自动喷砂装置，包括：竖向传动机构、横向传动机构、垂直传动机构、喷枪模组、砂泵和砂缸。其中，竖向传动机构用于驱动金刚线多晶硅片进出喷砂区；横向传动机构设置在竖向传动机构上方，用于固定喷枪模组，横向传动机构能沿着X轴方向往复运动；垂直传动机构的输出端与横向传动机构连接，用于驱动横向传动机构沿着Z轴方向运动。利用竖向传动机构、横向传动机构和垂直传动机构三轴联动实现多自由度数控调节，不仅能满足多种金刚线多晶硅片的加工需求，而且能严格控制切削深度和金刚线多晶硅片表面的微观结构，加工质量均匀，一致性好。

主权项

一种用于金刚线多晶硅片的三轴联动自动喷砂装置，其特征在于包括：竖向传动机构、横向传动机构、垂直传动机构、喷枪模组、砂泵、砂缸和控制器；其中，竖向传动机构在控制器的控制下驱动金刚线多晶硅片进出喷砂区，包括：真空载台、传动轨道和Y轴驱动单元；其中，真空载台的上端面用于放置金刚线多晶硅片；传动轨道用于承载真空载台、并限定真空载台进出喷砂区的轨迹；Y轴驱动单元在控制器的控制下驱动真空载台沿着Y轴方向进出喷砂区；横向传动机构设置在竖向传动机构上方，用于固定喷枪模组；横向传动机构在控制器的控制下沿着X轴方向往复运动；垂直传动机构的输出端与横向传动机构连接，在控制器的控制下驱动横向传动机构沿着Z轴方向运动；砂泵的一端与砂缸连接，另一端与喷枪模组连接，在控制器的控制下将砂缸中的磨液泵入喷枪模组的喷枪的进料孔；控制器接收外部的操作指令；当所述操作信号为喷砂指令时：控制器根据所述喷砂指令生成控制信号，依据所述控制信号调整竖向传动机构、横向传动机构和垂直传动机构的位置，依据所述控制信号调整所述砂泵的喷射流量；其中，X轴方向是指平行于金刚线多晶硅片、并与Y轴垂直的方向，Y轴方向是指金刚线多晶硅片进入喷砂区的方向，Z轴分别与X轴和Y轴垂直。