[实用新型]一种均匀容性平板电极放电装置有效
| 申请号： | 201620714784.9 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN206100589U | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 何永乐;王新兵;左都罗;陆培祥 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心42201 | 代理人： | 廖盈春 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种均匀容性平板电极放电装置，包括充气单元、主电源单元、放电单元、预电离单元和真空单元；所述充气单元与所述真空单元连接，提供放电气体；所述放电单元设置在所述真空单元内，产生气体放电的区域；所述预电离单元与所述放电单元连接，为气体放电提供初始电子；所述主电源单元与所述放电单元连接，为维持放电提供功率；所述真空单元用于去除其它气体杂质对放电的影响。本实用新型通过在放电空间两侧布置阵列式针电极的方式，在放电空间上均匀预放电，然后在平板电极上施加放电功率实现高气压下的气体稳定放电，这种放电方式可以有效降低气体击穿电压，放电也更均匀，可用于材料表面改性、高功率气体激光器等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 平板 电极 放电 装置 | ||
【主权项】：
一种均匀容性平板电极放电装置，其特征在于，包括：充气单元、主电源单元、放电单元、预电离单元和真空单元；所述充气单元与所述真空单元连接，提供放电气体；所述放电单元设置在所述真空单元内，产生气体放电的区域；所述预电离单元与所述放电单元连接，为气体放电提供初始电子；所述主电源单元与所述放电单元连接，为维持放电提供功率；所述真空单元用于去除其它气体杂质对放电的影响。
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