[实用新型]一种防止次声波污染的硅片清洗槽有效
申请号: | 201620670094.8 | 申请日: | 2016-06-30 |
公开(公告)号: | CN205949397U | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 支秉旭 | 申请(专利权)人: | 江西大杰新能源技术有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 335400 *** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种防止次声波污染的硅片清洗槽。当前,企业在对硅片进行超声波清洗时,由于超声波能量会有损失,导致频率降低,进而转变为次声波,因此会造成车间次声波污染,人工长期处于次声波污染中会导致耳鸣、耳聋的疾病,存在不足。本实用新型涉及一种防止次声波污染的硅片清洗槽,其中支架与外槽体固定连接,支架顶部与横梁固定连接,横梁与导轮连接,导轮与连杆连接,连杆与固定块固定连接,超声波振子与内槽体固定连接。本装置采用隔音降噪的方式,将次声波的能量吸收,使之转变为人耳可以接受的声波,避免次声波污染对人体造成的损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 防止 次声波 污染 硅片 清洗 | ||
【主权项】:
一种防止次声波污染的硅片清洗槽,包括导轮(1)、连杆(2)、固定块(3)、横梁(4)、超声波振子(5)、内槽体(6)、外槽体(7)、支架(8);其特征在于:支架(8)与外槽体(7)固定连接,支架(8)顶部与横梁(4)固定连接,横梁(4)与导轮(1)连接,导轮(1)与连杆(2)连接,连杆(2)与固定块(3)固定连接,超声波振子(5)与内槽体(6)固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西大杰新能源技术有限公司,未经江西大杰新能源技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620670094.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:清洗系统
- 下一篇:一种硅片超声波清洗槽的送料装置