[实用新型]一种防止次声波污染的硅片清洗槽有效

专利信息
申请号: 201620670094.8 申请日: 2016-06-30
公开(公告)号: CN205949397U 公开(公告)日: 2017-02-15
发明(设计)人: 支秉旭 申请(专利权)人: 江西大杰新能源技术有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 335400 *** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型涉及一种防止次声波污染的硅片清洗槽。当前,企业在对硅片进行超声波清洗时,由于超声波能量会有损失,导致频率降低,进而转变为次声波,因此会造成车间次声波污染,人工长期处于次声波污染中会导致耳鸣、耳聋的疾病,存在不足。本实用新型涉及一种防止次声波污染的硅片清洗槽,其中支架与外槽体固定连接,支架顶部与横梁固定连接,横梁与导轮连接,导轮与连杆连接,连杆与固定块固定连接,超声波振子与内槽体固定连接。本装置采用隔音降噪的方式,将次声波的能量吸收,使之转变为人耳可以接受的声波,避免次声波污染对人体造成的损伤。
搜索关键词: 一种 防止 次声波 污染 硅片 清洗
【主权项】:
一种防止次声波污染的硅片清洗槽,包括导轮(1)、连杆(2)、固定块(3)、横梁(4)、超声波振子(5)、内槽体(6)、外槽体(7)、支架(8);其特征在于:支架(8)与外槽体(7)固定连接,支架(8)顶部与横梁(4)固定连接,横梁(4)与导轮(1)连接,导轮(1)与连杆(2)连接,连杆(2)与固定块(3)固定连接,超声波振子(5)与内槽体(6)固定连接。
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