[实用新型]一种防止硅片受热变形的硅片倒角机

摘要

本实用新型涉及一种防止硅片受热变形的硅片倒角机。当前，企业在对硅片进行倒角时由于摩擦产生大量的热，使硅片温度升高，当温度超过临界值时会导致硅片变形与组织变性，降低硅片的力学性能，存在不足。本实用新型涉及一种防止硅片受热变形的硅片倒角机，其中机体与第一电机固定连接，第一电机与蜗杆同轴连接，蜗杆与蜗轮啮合连接，蜗轮通过传动轴与固定块固定连接，第二电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与倒角刀固定连接，冷却液箱与管道连通。本装置采用对硅片进行冷却的方式，避免硅片受热变形，提高硅片的质量。

主权项

一种防止硅片受热变形的硅片倒角机，包括机体（1）、第一电机（2）、蜗杆（3）、蜗轮（4）、传动轴（5）、固定块（6）、第二电机（7）、主动带轮（8）、冷却液箱（9）、管道（10）、传动带（11）、从动带轮（12）、倒角刀（13）；其特征在于：机体（1）与第一电机（2）固定连接，第一电机（2）与蜗杆（3）同轴连接，蜗杆（3）与蜗轮（4）啮合连接，蜗轮（4）通过传动轴（5）与固定块（6）固定连接，第二电机（7）与主动带轮（8）同轴连接，主动带轮（8）通过传动带（11）与从动带轮（12）连接，从动带轮（12）与倒角刀（13）固定连接，冷却液箱（9）与管道（10）连通。