[实用新型]一种明场光线下高精度硅片检测系统

摘要

本实用新型公开一种明场光线下高精度硅片检测系统，包括计算机装置、高像素自动相机、触摸屏显示器、灯光控制器，灯源和传送带。所述的计算机装置由计算机控制器、速度分析模块、图像选型模块、图像缺陷分析模块、图像周长处理模块、下道工序提示模块、图像统计模块和灯光控制模块组成一体机，计算机控制器控制这几种模块的运行工作。本实用新型能够识别包括成品、半成品、单晶、多晶、混合硅片等不同色差不同种类型号的硅片，且误判率几乎为零，硅片在0.1mm内的缺陷破损都能识别检测到，精度高，稳定性好。不仅节约了人工成本，提高了生产效率，降低作业强度及有效的合理安排生产，达到最佳的流水作业，实现全自动化生产。

主权项

一种明场光线下高精度硅片检测系统，其特征在于：它包括计算机装置、高像素自动相机、触摸屏显示器、灯光控制器，灯源和传送带；所述的计算机装置连接控制高像素自动相机、触摸屏显示器、灯光控制器；所述的高像素自动相机采集传送带上硅片的图像信息以及传送带上的标记信息，并将这些信息输出给计算机控制器；所述的触摸屏显示器能够经过触屏操作能显示出各段时间每个缺陷硅片的信息和图像信息以及合格硅片缺陷硅片的分段统计数据，所述的灯光控制器连接和控制灯源为传送带上的硅片提供合适的光照；所述的灯光控制模块能根据传送带移动速度和硅片上的图像数据自动驱动灯光控制器，通过灯光控制器调整灯源的亮度和色差；所述的高像素自动相机安装在传送带的前段，高像素自动相机能设置多个并且安装位置和拍摄角度能够调整；所述的传送带的传送速度能够调节。