[实用新型]用于接触压力测量的高柔弹性电子皮肤

摘要

本实用新型涉及一种用于接触压力测量的高柔弹性电子皮肤。其上电极层、下电极层分别以PDMS为基底，PDMS基底上设置银纳米线AgNws导线阵列，中间传感层以多孔PDMS膜为基材；上电极层、下电极层的银纳米线AgNws导线阵列通过PDMS相纸原位固化方法置于PDMS基底上；多孔PDMS膜的孔内镶嵌有圆形PDMS薄片，圆形PDMS薄片的上、下表面蒸镀一层金属Au，圆形PDMS薄片及其上、下表面的金属Au层构成基于电容原理的压力传感単元，金属Au与银纳米线AgNws导线电连接。本实用新型的功能是实现接触压力检测，不但具有高柔弹性，还具有超薄、轻量化、灵敏度高、可扩展性好等重要特点。

主权项

一种用于接触压力测量的高柔弹性电子皮肤，包括上电极层、中间传感层、下电极层，上电极层、下电极层分别以PDMS为基底，PDMS基底上设置银纳米线AgNws导线阵列，中间传感层以多孔PDMS膜为基材；其特征在于：上电极层、下电极层的银纳米线AgNws导线阵列通过PDMS相纸原位固化方法置于PDMS基底上；多孔PDMS膜的孔内镶嵌有圆形PDMS薄片，圆形PDMS薄片的上、下表面通过电子束蒸镀工艺蒸镀一层金属Au，圆形PDMS薄片及其上、下表面的金属Au层构成基于电容原理的压力传感単元，压力传感单元的上、下两表面与银纳米线AgNws导线电连接。