[实用新型]毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源有效
| 申请号： | 201620641543.6 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN205681358U | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 赵永蓬;徐强;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H02P9/06 | 分类号： | H02P9/06 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 胡树发 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，涉及电源，为了解决现有主脉冲放电电源的体积庞大的问题，电网的三相电压输出端的三端分别与高压调压器三相电压输入端的三端相连，高压调压器的输出端与高压变压器的输入端相连，高压变压器的输出端与主脉冲主放电电源主体的电压输入端相连，主脉冲主放电电源主体的初级高压输出端与脉冲压缩装置的电压输入端相连，控制柜的控制信号输出端一与主脉冲主放电电源主体的控制信号输入端相连，控制柜的控制信号输出端二与脉冲压缩装置的控制信号输入端相连。本实用新型的电源结构紧凑，装置简单，便于应用，适用于为极紫外光源提供电源。 | ||
| 搜索关键词： | 毛细管 放电 箍缩极 紫外 光源 紧凑型 脉冲 电源 | ||
【主权项】：
毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，其特征在于，包括高压调压器(1)、高压变压器(2)、主脉冲主放电电源主体(3)、脉冲压缩装置(4)和控制柜(5)；电网的三相电压输出端的三端分别与高压调压器(1)三相电压输入端的三端相连，高压调压器(1)的输出端与高压变压器(2)的输入端相连，高压变压器(2)的输出端与主脉冲主放电电源主体(3)的电压输入端相连，主脉冲主放电电源主体(3)的初级高压输出端与脉冲压缩装置(4)的电压输入端相连，控制柜(5)的控制信号输出端一与主脉冲主放电电源主体(3)的控制信号输入端相连，控制柜(5)的控制信号输出端二与脉冲压缩装置(4)的控制信号输入端相连。
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