[实用新型]一种膜厚调节装置、薄膜蒸镀设备有效
| 申请号： | 201620628028.4 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN205669063U | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 马群;胡海兵 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 017000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种膜厚调节装置、薄膜蒸镀设备，用以使蒸镀膜厚保持均一，并提高生产效率。膜厚调节装置包括：设置在线蒸发源腔体内部的至少两个反射器，以及设置在所述线蒸发源腔体外部的至少一个控制器，每一所述控制器至少与一所述反射器连接；每一所述反射器上均设置若干镂空区域，所述控制器用于通过控制与该控制器连接的所述反射器的移动，控制不同所述反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 装置 薄膜 设备 | ||
【主权项】：
一种膜厚调节装置，其特征在于，包括设置在线蒸发源腔体内部的至少两个反射器，以及设置在所述线蒸发源腔体外部的至少一个控制器，每一所述控制器至少与一所述反射器连接；每一所述反射器上均设置若干镂空区域，所述控制器用于通过控制与该控制器连接的所述反射器的移动，控制不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小。
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