[实用新型]毛细管放电Z箍缩极紫外光辐射收集系统的真空室

摘要

毛细管放电Z箍缩极紫外光辐射收集系统的真空室，涉及毛细管放电EUV光源技术，为了解决常规的真空室不适用毛细管放电Z箍缩极紫外光辐射收集系统的问题。包括真空室I和真空室II两部分，真空室I的一端连接放电室，真空室I的另一端与真空室II相连通，放电室与真空室I连接处，设置有光源的毛细管，真空室I和真空室II连接处设置有收集镜支架，多层光学收集镜均固定在收集镜支架上，真空室II的内部还设置有探测系统，用于对EUV光源放电特性和辐射光的动态监测，毛细管与多层光学收集镜之间设置有杂质过滤装置，真空室II的末端用于连接照明系统。本实用新型的真空室不仅具有良好的真空度，而且收集效率高。

主权项

毛细管放电Z箍缩极紫外光辐射收集系统的真空室，其特征在于，包括真空室I(2)和真空室II(3)两部分，真空室I(2)的一端连接放电室(1)，真空室I(2)的另一端与真空室II(3)相连通，放电室(1)与真空室I(2)连接处以及真空室I(2)与真空室II(3)的连接处均密封，在放电室(1)与真空室I(2)连接处，设置有光源的毛细管，该毛细管的中心轴与真空室I(2)的中心轴和真空室II(3)的中心轴均重合，真空室I(2)和真空室II(3)连接处设置有收集镜支架(8)，多层光学收集镜(9)均固定在收集镜支架(8)上，多层光学收集镜(9)组成光学收集系统，真空室I(2)和真空室II(3)壁上均设置有出气孔(4)，用于连接真空泵，真空室II(3)的内部还设置有探测系统(10)，用于对EUV光源放电特性和辐射光的动态监测，探测系统(10)通过探测系统支架固定在真空室II(3)内，真空室I(2)和真空室II(3)侧壁上均设置有观察窗(7)，真空室I(2)上还设置有进气孔(6)，用于向真空室内通入氩气，真空室II(3)的末端用于连接照明系统，所述末端的壁上设置有窗口，毛细管(1‑1)发出的极紫外光经过光学收集系统后聚焦在该窗口上，并通过该窗口进入照明系统；毛细管与多层光学收集镜(9)之间设置有杂质过滤装置(5)；所述杂质过滤装置(5)包括喷气装置(5‑1)、金属箔片冷阱(5‑2)、多根支撑条(5‑3)和空心支撑管(5‑4)；金属箔片冷阱(5‑2)包括多层金属箔片，每层金属箔片均为圆锥面，多层金属箔片与真空室I(2)同轴且依次嵌套，多层金属箔片的小口径端的开口朝向毛细管(1‑1)，空心支撑管(5‑4)位于金属箔片冷阱(5‑2)的轴线上，支撑条(5‑3)的一端固定在空心支撑管(5‑4)的一端，空心支撑管(5‑4)的另一端固定在收集镜支架(8)上，多根支撑条(5‑3)以空心支撑管(5‑4)为中心，呈放射状均匀分布，金属箔片的一端固定在支撑条(5‑3)的侧部，喷气装置(5‑1)位于毛细管(1‑1)与金属箔片冷阱(5‑2)之间，喷气装置(5‑1)的喷气方向与毛细管的中心轴垂直。