[实用新型]接触电阻的测试结构及器件电阻的测试结构有效
| 申请号： | 201620555644.1 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN205720446U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 许广勤 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种接触电阻的测试结构及器件电阻的测试结构，其中所述接触电阻的测试结构包括第一焊垫和与所述第一焊垫串联的第二焊垫，所述第一焊垫与第二焊垫由一电阻值小于1ohm的电阻结构连接；其中器件电阻的测试结构包括以上所述的接触电阻的测试结构和被测电阻的测试结构。通过本实用新型提供的接触电阻的测试结构，可量测出探针与焊垫的接触电阻，从而在对器件的电阻进行测试时，可排除接触电阻的影响而量测出器件的准确的电阻值。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 电阻 测试 结构 器件 | ||
【主权项】：
一种接触电阻的测试结构，包括第一焊垫和与所述第一焊垫串联的第二焊垫，其特征在于，所述第一焊垫与第二焊垫由一电阻结构连接，所述电阻结构的电阻值小于等于1Ω。
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