[实用新型]一种用于晶片铜抛修整的转接机构

摘要

本实用新型涉及一种用于晶片铜抛修整的转接机构，包括加工轴、轴盘、由尼龙材料制成的转接盘和螺栓，加工轴底部设有连接法兰，轴盘底部设有第一凹槽，轴盘外设有若干紧固板和顶出机构，顶出机构包括支撑座、顶出板和限位块，支撑座内设有空腔，支撑座两侧设有导板，导板上设有通孔，顶出板一侧设有转板，转板两侧设有凸杆，转接盘包括上圆盘和下圆盘，下圆盘底部设有第二凹槽，第二凹槽内设有十字方槽；本实用新型结构合理，拆装方便，实用性高，针对小型机和大型机之间的存在的差异，可将大陶瓷盘转接到小机型上进行修整，以降低晶片TTV，实现平坦度要求，同时提高加工效率。

主权项

一种用于晶片铜抛修整的转接机构，包括加工轴、轴盘、由尼龙材料制成的转接盘和螺栓，其特征为，所述加工轴底部设有连接法兰，所述连接法兰上设有若干连接孔，所述若干连接孔绕连接法兰一周均匀间隔设置，通过螺栓穿过连接孔和轴盘实现加工轴和轴盘相连，所述轴盘底部设有第一凹槽，所述轴盘外设有若干紧固板和顶出机构，所述若干紧固板绕轴盘一周均匀间隔设置，所述紧固板上设有紧固螺钉，所述紧固螺钉端部置于第一凹槽内；所述顶出机构位于轴盘顶部两侧，所述顶出机构包括支撑座、顶出板和限位块，所述支撑座内设有空腔，所述空腔与第一凹槽连通，所述支撑座两侧设有导板，所述导板上设有通孔，所述限位块位于导板一侧，且与支撑座相连，所述顶出板位于导板另一侧，所述顶出板一侧设有转板，所述转板置于导板之间，且两侧设有凸杆，所述凸杆置于通孔内，所述转板上设有倾斜面，所述倾斜面与限位块配合；所述转接盘包括上圆盘和下圆盘，所述上圆盘和下圆盘与轴盘和加工轴同轴设置，所述上圆盘底部与下圆盘顶部相连，所述上圆盘外壁与第一凹槽内壁间隙配合，所述下圆盘置于若干紧固板之间，所述下圆盘底部设有第二凹槽，所述第二凹槽为圆柱形槽，所述第二凹槽内设有十字方槽，所述十字方槽的交叉点位于第二凹槽顶表面圆心处。