[实用新型]制备异质结太阳能电池的硅片周转箱有效
申请号: | 201620473623.5 | 申请日: | 2016-05-23 |
公开(公告)号: | CN205752215U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 谢卿;张闻斌;王琪 | 申请(专利权)人: | 苏州协鑫集成科技工业应用研究院有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司;协鑫集成科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/673 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种制备异质结太阳能电池的硅片周转箱,包括:箱体,用于容纳硅片,具有一开口部;盖板,盖合于所述开口部上;进氮口,用于向所述箱体内输送氮气,设置于所述箱体一侧或所述盖板上,及空气排出口,用于将所述箱体内的空气排出;设置于所述箱体一侧或所述盖板上进氮口空气排出口。当一道工序完成后,立刻将盛有硅片的花篮放入箱体内,然后将盖板盖合在箱体的开口部。并将氮气由进氮口缓缓通入箱体内部,氮气进入箱体内循环,排挤原本在箱体内部的空气,空气从空气排出口排出,使得箱体内部基本都是氮气,形成对存放在内部的硅片的保护,防止硅片遭到外界空气的污染。 | ||
搜索关键词: | 制备 异质结 太阳能电池 硅片 周转 | ||
【主权项】:
一种制备异质结太阳能电池的硅片周转箱,其特征在于,包括:箱体,用于容纳硅片,具有一开口部;盖板,盖合于所述开口部上;进氮口,用于向所述箱体内输送氮气,设置于所述箱体一侧或所述盖板上,及空气排出口,用于将所述箱体内的空气排出;设置于所述箱体一侧或所述盖板上进氮口空气排出口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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