[实用新型]一种大功率直流等离子体电源有效
申请号: | 201620467500.0 | 申请日: | 2016-05-23 |
公开(公告)号: | CN205754028U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 金国卫;许卫;张荣正;许勇 | 申请(专利权)人: | 安徽省金屹电源科技有限公司 |
主分类号: | H02M7/217 | 分类号: | H02M7/217 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人: | 金凯 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区K*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种大功率直流等离子体电源,包括n组串联的PSM模块、平波电感、第一电流测量模块和反馈控制保护系统,电网电压经真空断路器与整流变压器的输入端相连,整流变压器的输出端分别连接至每组PSM模块的输入端,n组串联的PSM模块的输出经平波电感连接至输出电极,所述第一电流测量模块安装在主回路母线上,所述反馈保护系统的输入端与第一电流测量模块相连,其输出端分别与PSM模块的控制端相连。本实用新型电源输出电压范围大,输出功率可达MW级,具有很好的动态特性、很短的反应时间,能快速响应等离子体负载的剧大扰动,具备很好的电流控制特性,保证了等离子体产品的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 大功率 直流 等离子体 电源 | ||
【主权项】:
一种大功率直流等离子体电源,其特征在于:包括n组串联的PSM模块(2)、平波电感(7)、第一电流测量模块(8)和反馈控制保护系统,电网电压经真空断路器(1)与整流变压器(3)的输入端相连,整流变压器(3)的输出端分别连接至每组PSM模块(2)的输入端,n组串联的PSM模块(2)的输出经平波电感(7)连接至输出电极,所述第一电流测量模块(8)安装在主回路母线上,用于测量电源输出电流,并按比例转换成电压输出后连接至反馈控制保护系统,所述反馈控制保护系统的输入端与第一电流测量模(8)相连,其输出端分别与PSM模块(2)的控制端相连。
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