[实用新型]一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的装置

摘要

本实用新型公开了一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的装置，属于多晶硅生产废物资源化领域；本实用新型所述装置包括反应釜、吸收塔、水冷器、汽水分离器I、深冷器、汽水分离器II、渣浆泵I、过滤机I、盐酸收集罐、洗涤罐、渣浆泵II、过滤机II、循环泵；反应釜与吸收塔连通，吸收塔与水冷器连通，水冷器与汽水分离器I连通，汽水分离器I与深冷器连通，深冷器与汽水分离器II连通，汽水分离器I和汽水分离器II与盐酸收集罐连通；反应釜通过渣浆泵I与过滤机I连通，过滤机I与盐酸收集罐连通；洗涤罐通过渣浆泵II与过滤机II连通，过滤机II与盐酸收集罐连通；盐酸收集罐通过循环泵与吸收塔连通。本实用新型所述装置省去了专门的盐酸解析设备，减少能源消耗，降低生产装置建设成本和运行成本。

主权项

一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的装置，其特征在于：其特征在于：所述装置包括反应釜（1）、吸收塔（2）、水冷器（3）、汽水分离器I（4）、深冷器（5）、汽水分离器II（6）、渣浆泵I（7）、过滤机I（8）、盐酸收集罐（9）、洗涤罐（10）、渣浆泵II（11）、过滤机II（12）、循环泵（13）；反应釜（1）与吸收塔（2）连通，吸收塔（2）与水冷器（3）连通，水冷器（3）与汽水分离器I（4）连通，汽水分离器I（4）与深冷器（5）连通，深冷器（5）与汽水分离器II（6）连通，汽水分离器I（4）和汽水分离器II（6）与盐酸收集罐（9）连通；反应釜（1）通过渣浆泵I（7）与过滤机I（8）连通，过滤机I（8）与盐酸收集罐（9）连通；洗涤罐（10）通过渣浆泵II（11）与过滤机II（12）连通，过滤机II（12）与盐酸收集罐（9）连通；盐酸收集罐（9）通过循环泵（13）与吸收塔（2）连通。