[实用新型]拼接式石英罩结构

摘要

本实用新型涉及一种拼接式石英罩结构，其特征在于：由大块罩体和小块罩体组成，大块罩体和小块罩体搭接形成环形笼罩空间，小块罩体的两端内壁搭靠于大块罩体的两端外壁上，小块罩体和大块罩体的底部边缘位于同一水平面上，大块罩体和小块罩体的靠近各自底部边缘的搭接边缘处分别切设有斜边或弧形边，大块罩体和小块罩体的相对应的斜边或弧形边拼合成允许吹扫气管通过的三角缺口或弓形缺口，大块罩体背向小块罩体的一侧开设有矩形排风缺口，大块罩体和小块罩体的顶部边缘为同心弧形边缘且两者拼合成供电极通过的中心孔。其使用寿命长、节约生产成本，配合排风吹扫系统和遮热板使用，在减少坩埚沉积物的同时，避免了石英罩的破裂带来的影响。

主权项

一种拼接式石英罩结构，其特征在于：由大块罩体和小块罩体组成，所述大块罩体和小块罩体搭接形成环形笼罩空间，所述小块罩体的两端内壁搭靠于大块罩体的两端外壁上，所述小块罩体和大块罩体的底部边缘位于同一水平面上，所述大块罩体和小块罩体的靠近各自底部边缘的搭接边缘处分别切设有斜边或弧形边，所述大块罩体和小块罩体的相对应的斜边或弧形边拼合成允许吹扫气管通过的三角缺口或弓形缺口，所述大块罩体背向小块罩体的一侧开设有矩形排风缺口，所述大块罩体和小块罩体的顶部边缘为同心弧形边缘且两者拼合成供电极通过的中心孔。