[实用新型]一种外延炉的盖片有效
| 申请号： | 201620388943.0 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN205635853U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 罗金云;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/36 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市翔安区翔星*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种外延炉的盖片，设置于外延炉大盘上相邻小盘基座之间的间隙区域，该盖片包括上盖片及下盖片，所述上盖片由所述大盘边缘延伸至与相邻两小盘基座的圆心连接线平齐，所述下盖片由所述圆心连接线延伸至所述大盘的中部，所述上盖片与下盖片相互配合并覆盖所述间隙区域。本实用新型通过上下盖片的分段设计可有效避免因加热沉积作用导致的变形，从而提高其使用寿命，避免对晶片生长过程产生不良影响，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 | ||
【主权项】：
一种外延炉的盖片，设置于外延炉大盘上相邻小盘基座之间的间隙区域，其特征在于：该盖片包括上盖片及下盖片，所述上盖片由所述大盘边缘延伸至与相邻两小盘基座的圆心连接线平齐，所述下盖片由所述圆心连接线延伸至所述大盘的中部，所述上盖片与下盖片相互配合并覆盖所述间隙区域。
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