[实用新型]一种刻蚀机有效
| 申请号： | 201620388912.5 | 申请日： | 2016-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN205576282U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王君辉 | 申请（专利权）人： | 江苏锦润光电有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种刻蚀机，包括机体及真空室，所述机体内有六条气管连通至真空室，其中两条气管连通至高压气泵，另外四条气管连通至真空泵；所述气管上均设有电磁阀，连通至真空泵的四条气管上还设有电磁流量计。本实用新型的刻蚀机，采用六路气管，两路气管连通高压气泵，起到清洗气路的作用，另外四路用来抽真空，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种刻蚀机，包括机体（1）及真空室（2），其特征在于：所述机体（1）内有六条气管（3）连通至真空室（2），其中两条气管（3）连通至高压气泵（4），另外四条气管（3）连通至真空泵（5）；所述气管（3）上均设有电磁阀（6），连通至真空泵（5）的四条气管（3）上还设有电磁流量计（7）。
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