[实用新型]一种外延炉的偏心盖环有效
| 申请号： | 201620388213.0 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN205711038U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 罗金云;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市翔安区翔星*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种外延炉的偏心盖环，所述偏心盖环设置于外延炉的小盘上并具有环状结构，其环状结构的内圆和外圆偏心设置且分别具有一缺口，两缺口叠合形成一开口，小尺寸外延晶片置于内圆区域内可有效模拟大尺寸晶片生长，并在缺口所在方向上实现大尺寸晶片全半径范围的结构及性能展现，从而实现用小尺寸晶片进行大尺寸晶片工艺的调试，同时该偏心盖环可以重复利用，节约了原材的消耗，节省生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 偏心 | ||
【主权项】：
一种外延炉的偏心盖环，其特征在于：该偏心盖环设置于外延炉的小盘上并具有环状结构，其环状结构的内圆和外圆偏心设置且分别具有一缺口，两缺口叠合形成一开口，内圆区域形成用于容纳外延晶片的空间。
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