[实用新型]一种晶圆显微镜光源结构有效
| 申请号： | 201620386809.7 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN205579258U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张学良;高海林 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F21S2/00 | 分类号： | F21S2/00;F21V33/00;H01L21/66;F21V21/14 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆显微镜光源结构，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、锁紧套以及紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、多种发光源以及开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。本实用新型通过固定支架，实现灯头的固定和角度调节；通过光源装置提供不同的发光源，便于检测出不同缺陷；再通过灯头的光线发散特性，增大光源的照射区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显微镜 光源 结构 | ||
【主权项】：
一种晶圆显微镜光源结构，其特征在于，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、套紧在所述固定柱上的至少一个锁紧套以及设置在每个锁紧套上的紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、设置在所述底座上的多种发光源以及与所述底座相连的开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。
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