[实用新型]一种适用于微电子行业的涂胶设备

摘要

一种适用于微电子行业的涂胶设备，包括点胶针筒、吸盘、驱动电机、抽气设备、净化工作腔、湿度计、压缩氮气瓶和抽气风机，净化工作腔左右端板开设气孔，净化工作腔的左侧端板外设置有散流罩，压缩氮气瓶的出气口经过减压阀连接散流罩的进气口，净化工作腔的右侧端板外设置有集风罩，集风罩的出气口连接抽气风机的进气口，点胶针筒固定在净化工作腔的顶部，吸盘设置于净化工作腔内且位于点胶针筒的正下方。本实用新型将涂胶放置于净化工作腔内进行，不会污染操作环境，保护人员健康；净化工作腔为涂胶过程提供了洁净的环境，空气中的灰尘不会污染涂覆的胶水；湿度过大时，可以通过打开压缩氮气瓶，向工作腔内送入干燥的氮气来降低工作腔内的湿度。

主权项

一种适用于微电子行业的涂胶设备，包括点胶针筒、用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的驱动电机和为吸盘提供吸力的抽气设备，其特征在于：还包括净化工作腔、湿度计、压缩氮气瓶和抽气风机，所述湿度计设置于净化工作腔的内部；所述净化工作腔左右端板开设气孔，净化工作腔的左侧端板外设置有散流罩，压缩氮气瓶的出气口经过减压阀连接散流罩的进气口，所述净化工作腔的右侧端板外设置有集风罩，集风罩的出气口连接抽气风机的进气口，所述点胶针筒固定在净化工作腔的顶部，吸盘设置于净化工作腔内且位于点胶针筒的正下方；吸盘的中轴线位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为2mm。