[实用新型]一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构有效
| 申请号： | 201620334756.4 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN205529152U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 姜剑;孙聂枫;孙同年;王书杰;史艳磊 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郝伟 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，涉及半导体材料制备技术领域。本实用新型包括加热器、坩埚、坩埚托、上坩埚杆、下坩埚杆,坩埚及坩埚托置于加热器热场中，上坩埚杆和下坩埚杆均为中空结构，坩埚杆下端设有密封结构，上坩埚杆的中空腔为密封腔，热电偶穿过密封结构使热电偶测量端位于上坩埚杆密封腔的顶部；下坩埚杆的上端口与上坩埚杆的下端口为可拆卸式紧固连接结构。本实用新型能有效阻隔在高温高压情况下腐蚀性或挥发性气体渗入上坩埚杆腔内，防止热电偶测量端合金探头被腐蚀断或由于与渗入气体反应降低熔点导致其熔断，保证整个合成及晶体生长过程中温度精准的反馈和显示，提高晶体材料成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压 单晶炉内 防止 热电偶 腐蚀 熔断 结构 | ||
【主权项】：
一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，包括加热器（1）、坩埚（2）、坩埚托（4）、上坩埚杆（5）, 嵌套坩埚（2）的坩埚托（4）置于加热器（1）热场中，上坩埚杆（5）设于坩埚托（4）的底部，其特征在于，上坩埚杆（5）为中空结构，坩埚杆（5）的下端设有密封结构，上坩埚杆（5）的中空腔形成密封腔，热电偶（6）穿过密封结构使热电偶测量端（7）位于上坩埚杆（5）的密封腔内的顶部；还设有中空的下坩埚杆（9），下坩埚杆（9）的上端口与上坩埚杆（5）的下端口为可拆卸式紧固连接结构。
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