[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201620248835.3 | 申请日： | 2016-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN205420533U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 万想;孙力 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀设备，属于显示技术领域，其可解决现有的蒸镀设备热传导效率低，易堵塞坩埚口的问题。本实用新型的蒸镀设备中，至少部分加热丝设于坩埚壁处，通过给加热丝通电，将电能转化为热能，相当于在坩埚壁处增加热交换，提高热传导效率，同时可以使得坩埚内的蒸镀材料受热均匀，不会堵塞坩埚口，蒸镀工艺稳定。此外，还能通过加热丝固定坩埚的位置。本实用新型的蒸镀设备适用于各种蒸镀工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，包括坩埚和加热丝，所述坩埚包括坩埚底和坩埚壁，其特征在于，至少部分加热丝设于所述坩埚壁处。
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