[实用新型]一种用于测试硅片表面亲水性的装置有效
| 申请号： | 201620245684.6 | 申请日： | 2016-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN205483913U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 裴娜;刘红明;王禹;陈丹丹;范磊 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于测试硅片表面亲水性的装置，包括底座、载片基板，所述载片基板可以通过旋转电机相对于所述底座实现0‑180度任意角度旋转，所述载片基板上设有固定硅片的位置，所述固定硅片的位置上部设有滴管，所述基板上还设有平移电机，与所述平移电机的平移轴连接的为连杆，所述连杆上设有传感器，所述连杆可以在所述平移电机的驱动下垂直于所述平移轴上下移动，在测试亲水性的过程中不需要人工参与，减少了人工费用，大大提高了自动化程度，测试过程中的距离，时间，角度等参数均有装置自动设定、读取，提高了测试结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测试 硅片 表面 亲水性 装置 | ||
【主权项】：
一种用于测试硅片表面亲水性的装置，其特征在于：包括底座、载片基板，所述载片基板可以通过旋转电机相对于所述底座实现0‑180度任意角度旋转；所述载片基板上设有固定硅片的位置，所述固定硅片的位置上部设有滴管；所述基板上还设有平移电机，与所述平移电机的平移轴连接的为连杆，所述连杆上设有传感器，所述连杆可以在所述平移电机的驱动下垂直于所述平移轴上下移动。
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