[实用新型]单个晶圆转盒的控制电路及其装置

摘要

本实用新型实施例提供了一种单个晶圆转盒的控制电路及其装置，包括驱动模块、检测模块和主控模块，所述驱动模块控制取放臂将运输盒的单个晶圆进行取片至测试盒进行放片，同时通过检测模块检测所述晶圆的位置是否发生偏移，一旦晶圆的位置发生偏移，主控模块立即控制驱动模块停止工作，整个过程可通过人机操作界面实时操作并对晶圆的移动状态进行监控，避免了将晶圆插斜或者插错的情况发生，从而提高了晶圆转盒的效率以及解决了人为操作对晶圆片造成污染和损毁的问题。

主权项

一种单个晶圆转盒的控制电路，其特征在于，所述控制电路包括：外接取放臂，控制所述取放臂在水平方向和竖直方向上移动并将运输盒的单个晶圆进行取片至测试盒进行放片的驱动模块；与所述驱动模块相连接，检测所述晶圆的位置是否发生偏移的检测模块；同时与所述驱动模块和检测模块相连接，当所述晶圆的位置发生偏移时控制所述驱动模块停止工作的主控模块；与所述主控模块相连接，通过触摸屏进行实时操作并对所述晶圆的移动状态进行显示的人机操作界面。