[实用新型]蒸镀设备有效
| 申请号： | 201620212216.9 | 申请日： | 2016-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN205420530U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 邹清华;姚固;王玉;曾苏伟 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示器制备技术领域，公开了一种蒸镀设备，包括：工艺坩埚；预熔坩埚，预熔坩埚用于熔化和存储蒸镀材料；加热源，为预熔坩埚提供热量；搬运机构，用于夹持预熔坩埚、并驱动预熔坩埚为工艺坩埚添加液态化的蒸镀材料。本实用新型提供的蒸镀设备，通过设置预熔坩埚、加热源和搬运机构，可以使得每次工艺坩埚内的蒸镀材料低于一定质量时，直接将液态的蒸镀材料添加至工艺坩埚内，这样可以保持工艺坩埚在高温状态下，直接添加蒸镀材料，不需要往复调节工艺坩埚的温度。本实用新型提供的蒸镀设备，可以减少工艺腔体的开腔频率，也可以减少工艺腔体内的气氛变差现象的发生，提高蒸镀设备蒸镀的膜的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，其特征在于，包括：工艺坩埚；预熔坩埚，所述预熔坩埚用于熔化和存储蒸镀材料；加热源，为所述预熔坩埚提供热量；搬运机构，用于夹持所述预熔坩埚、并驱动所述预熔坩埚为所述工艺坩埚添加液态化的蒸镀材料。
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