[实用新型]一种高精度活塞式气体流量标准装置

摘要

本实用新型公开了一种高精度活塞式气体流量标准装置。本实用新型中以活塞缸内径为计量标准，利用光栅尺将活塞位移反馈给控制系统，实现一个闭环测量系统，同时安装了压力传感器和温度传感器可对系统进行温度压力补偿，有利于提高装置的检定精度；且本实用新型以底座为基准，来调整伺服电机跟直线导轨以及活塞使其处于同一轴线上，从而避免了由于其安装精度不够高，而出现的活塞使用寿命降低、装置误差增大等问题。

主权项

一种高精度活塞式气体流量标准装置，伺服电机（1）经减速机（28）通过固定盖（27）固定在底座（26）的上端钢板上，所述的减速机（28）通过联轴器与滚珠丝杆（3）一端连接，所述的滚珠丝杆（3）端部由轴承支撑，且轴承固定于底座（26）的上端钢板；所述的滚珠丝杆（3）另一端通过与活塞杆（23）内部相连接，且与滚珠丝杆（3）相配合的滚珠螺母（25）固定与活塞杆（23）法兰上；所述的活塞杆（23）法兰通过螺钉与运动块（24）相固定，所述的运动块（24）与安装在底座（26）上的直线导轨（29）相固定；光栅尺（30）的标尺光栅贴在所述的底座（26）一侧，光栅尺（30）的读数头通过固定板（5）安装在所述的运动块（24）一侧；与所述的活塞杆（23）相配合的活塞缸（7）一端固定于安装在支架（9）上表面的支撑板（22），活塞缸（7）另一端通过螺钉与缸盖（19）连接，所述的支架（9）下端装有蹄脚（14），所述的底座（26）上端钢板与支撑板（22）两侧通过圆管固定块（6）来固定支撑杆（4）；其特征在于：缸盖（19）底部中心通过气管（11）与第一电磁阀（12）一端相连，第一电磁阀（12）另一端通过气管（11）与快速接头（15）的一端相连，所述的快速接头（15）的另一端通过气管（11）与被检气体流量计（13）相连接；缸盖（19）底部一侧通过输入气管（16）与第二电磁阀（17）一端相连，第二电磁阀（17）的另一端与输入气管（16）的一端连接。