[实用新型]迈克尔逊干涉微小尺度测量装置

摘要

本实用新型公开了一种迈克尔逊干涉微小尺度测量装置。它包括光源、迈克尔逊干涉仪，联动装置、夹具、底板、光电转化装置和数据处理模块，所述联动装置和夹具均固定于底板上，所述移动反射镜安装于联动装置一侧，联动装置另一侧为用于放置待测物的倾斜刀口，所述夹具的夹持端与刀口顶部对应布置，所述光电转化装置的探测头与光屏连接，所述光电转化装置输出端与数据处理模块输入端电连接。本实用新型利用联动装置改变相应的量程，成本低廉、操作简单，使测量更具有普适性、通用性；采用光电探测仪采集干涉条纹数据，测量精度高；最后通过数据处理模块对采集的数据进行处理得到待测物的尺度，方便快捷，效率高。

主权项

一种迈克尔逊干涉微小尺度测量装置，包括光源(1)和迈克尔逊干涉仪(2)，光源(1)发出的光在迈克尔逊干涉仪(2)的光屏(2.5)上产生干涉条纹，其特征在于：还包括可改变迈克尔逊干涉仪上的移动反射镜位置的联动装置(3)、夹持待测物的夹具(4)、底板(5)、光电转化装置(6)和数据处理模块(7)，所述联动装置(3)和夹具(4)均固定于底板(5)上，所述移动反射镜(2.1)安装于联动装置(3)一侧，联动装置(3)另一侧为用于放置待测物的倾斜刀口(3.6)，所述夹具(4)的夹持端与刀口(3.6)顶部对应布置，所述光电转化装置(6)的探测头与光屏(2.5)连接，所述光电转化装置(6)输出端与数据处理模块(7)输入端电连接。