[实用新型]大容量卧式等离子体金属表面加工装置有效
| 申请号： | 201620101793.0 | 申请日： | 2016-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN205473977U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 吴晓明 | 申请（专利权）人： | 吴晓明 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;C23C16/34 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大容量卧式等离子体金属表面加工装置，包括卧置的抗压壳体，抗压壳体的一端封闭，另一端设有密封门，在抗压壳体内设有与高频电源连接的电极板，所述电极板为中空平面电极，所述中空平面电极的一侧面设有与进气管连接的进气口，另一相对侧面设有出气口。本实用新型的大容量卧式等离子体金属表面加工装置，可均匀处理等离子体金属内表面，保证产品质量，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 容量 卧式 等离子体 金属表面 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种大容量卧式等离子体金属表面加工装置，包括卧置的抗压壳体，抗压壳体的一端封闭，另一端设有密封门，在抗压壳体内设有与高频电源连接的电极板，其特征在于：所述电极板为中空平面电极，所述中空平面电极的一侧面设有与进气管连接的进气口，另一相对侧面设有出气口。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
