[实用新型]一种动态平行板等离子体发生器有效
| 申请号： | 201620100937.0 | 申请日： | 2016-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN205491411U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 左敏;胡彬;黎微明;李翔 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米装备科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 朱少华 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种动态平行板等离子体发生器，技术方案如下，其包括腔体、射频电源一、射频电源二、导电接触装置、第一电极、可移动的第二电极，所述腔体两侧相对位置上各设有开口，所述射频电源一与第一电极相连，所述射频电源二通过导电接触装置与可移动第二电极连接，所述动态的可移动的第二电极与第一电极形成平行板电容式的双频等离子体发生器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 平行 等离子体 发生器 | ||
【主权项】：
一种动态平行板等离子体发生器，其包括腔体、射频电源一、射频电源二、导电接触装置、第一电极、可移动的第二电极，所述腔体两侧相对位置上各设有开口，其特征在于，所述射频电源一与第一电极相连，所述射频电源二通过导电接触装置与可移动第二电极连接，所述动态的可移动的第二电极与第一电极形成平行板电容式的双频等离子体发生器。
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