[实用新型]一种质谱仪涡轮分子泵保护装置有效
申请号: | 201620036688.3 | 申请日: | 2016-01-15 |
公开(公告)号: | CN205592163U | 公开(公告)日: | 2016-09-21 |
发明(设计)人: | 王华;董小鲁;吴亮亮;王岳东 | 申请(专利权)人: | 上海舜宇恒平科学仪器有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D27/00;F04D29/08 |
代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人: | 王一琦 |
地址: | 201103 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种涡轮分子泵保护装置,包括活塞、保护器本体;活塞通过弹簧与保护器本体连接,保护器本体具有与前级泵连接的接入口,接入口与保护器本体内部的空腔连通;保护器泵体之外固定设置接线盒,接线盒上设有弹性触点;当接入口接入分子泵前级真空系统,且前级泵启动时,活塞在压差作用下运动,活塞的突出部分与接线盒上面的弹性触点接触,使两触点导通,此开关信号作为涡轮分子泵的启动信号;当前级真空系统故障时,内外压差不足以使活塞与本体紧密接触,在弹簧的作用力下分离,此时两触点之间不能导通,涡轮分子泵随即自行停机而受到保护。 | ||
搜索关键词: | 一种 质谱仪 涡轮 分子 保护装置 | ||
【主权项】:
一种涡轮分子泵保护装置,其特征在于:包括活塞(1)、保护器本体(4);所述活塞(1)通过弹簧(5)与保护器本体(4)连接,保护器本体(4)具有与前级泵连接的接入口(4a),所述接入口(4a)与保护器本体(4)内部的空腔连通;保护器本体(4)之外固定设置接线盒(3),接线盒上设有弹性触点(2);所述弹性触点(2)设在活塞(1)的突出部分的下方。
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