[发明专利]一种用于真空互联系统的样品运送架及真空装置有效
申请号: | 201611268430.7 | 申请日: | 2016-12-31 |
公开(公告)号: | CN108267609B | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 陆晓鸣;李坊森;丁孙安 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | G01N35/10 | 分类号: | G01N35/10 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种用于真空互联系统的样品运送架及真空装置,该样品运送架包括第一承托架和第二承托架,其中,第一承托架被设置为可在真空互联系统中的轨道上滑动;第二承托架设置于第一承托架之上,第二承托架顶部设有样品支撑平面及自样品支撑平面凹陷的第一凹槽,以使得样品叉可进入第一凹槽以顶起样品。本发明提供的用于真空互联系统的样品运送架及真空装置由于设有第二承托架,第二承托架上的第一凹槽可以使得样品叉进入第一凹槽从而顶起样品,实现在真空互联系统中机械传递,避免手动操作,提高样品表面的洁净度,并且能够节约时间成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 真空 联系 样品 运送 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于真空互联系统的样品运送架,其特征在于,包括:第一承托架,被设置为可在所述真空互联系统中的轨道上滑动;第二承托架,设置于所述第一承托架之上,所述第二承托架顶部设有样品支撑平面及自所述样品支撑平面凹陷的第一凹槽,以使得样品叉可进入所述第一凹槽以顶起所述样品。
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