[发明专利]蓝宝石基板研磨装置在审
申请号: | 201611265348.9 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN106737130A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 苗泽明;林岳明;黄朝辉 | 申请(专利权)人: | 苏州爱彼光电材料有限公司 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/34;B24B39/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215215 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种蓝宝石基板研磨装置,包括机架,具有转轴;设置于所述机架上的研磨台,并由所述转轴驱动而转动,所述研磨台具有研磨面,所述研磨面用于对位于所述研磨台上的蓝宝石基板研磨;位于所述研磨面上的陶瓷盘,带动所述蓝宝石基板相对于所述研磨面移动,所述陶瓷盘对蓝宝石基板中心位置施加的压力大于对蓝宝石基板边缘位置施加的压力。上述陶瓷盘利用对蓝宝石基板中心位置施加的压力大于对蓝宝石基板边缘位置施加的压力,达到研磨面对蓝宝石基板中心位置的研磨力度大于边缘位置的研磨力度,以使蓝宝石基板中心薄、中间位置较厚的技术效果,进而使蓝宝石的表面具有一定的弯曲度。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 研磨 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石基板研磨装置,其特征在于,包括:机架,具有转轴;设置于所述机架上的研磨台,并由所述转轴驱动而转动,所述研磨台具有研磨面,所述研磨面用于对位于所述研磨台上的蓝宝石基板研磨;位于所述研磨面上的陶瓷盘,带动所述蓝宝石基板相对于所述研磨面移动,所述陶瓷盘对蓝宝石基板中心位置施加的压力大于对蓝宝石基板边缘位置施加的压力。
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