[发明专利]一种横向凝固叠加电场提高多晶硅提纯得率的设备和方法有效
| 申请号： | 201611258337.8 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106587071B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;庄辛鹏;任世强;李鹏廷;姜大川;李佳艳 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种横向凝固叠加电场提高多晶硅提纯得率的设备，其特征在于，包括水冷柱，所述水冷柱的侧壁外侧设有石墨套筒，所述石墨套筒的侧壁外侧设有石墨坩埚，所述水冷柱、所述石墨套筒和所述石墨坩埚的轴线位于同一直线上，所述石墨坩埚的侧壁外侧设有环形发热体，所述环形发热体的侧壁外侧设有环形加热体，所述石墨坩埚的底部设有旋转托盘，所述水冷柱内设有循环流道，所述石墨套筒和所述石墨坩埚分别与电源正负极连接。本发明采用的是横向凝固叠加电场的方式，并且采用离心力和电场力来降低固液界面扩散层厚度，增加其分凝效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 横向 凝固 叠加 电场 提高 多晶 提纯 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种横向凝固叠加电场提高多晶硅提纯得率的设备，其特征在于，包括水冷柱，所述水冷柱的侧壁外侧设有石墨套筒，所述石墨套筒的侧壁外侧设有石墨坩埚，所述水冷柱、所述石墨套筒和所述石墨坩埚的轴线位于同一直线上，所述石墨坩埚的侧壁外侧设有环形发热体，所述环形发热体的侧壁外侧设有环形加热体，所述石墨坩埚的底部设有旋转托盘，所述水冷柱内设有循环流道，所述石墨套筒和所述石墨坩埚分别与电源正负极连接。
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